中文名：三氯硅烷
英文名：Trichlorosilane
中文别名：三氯氢硅
CAS号：10025-78-2
EINECS号;233-042-5
密度:1.342 g/mL
沸点:31.8±9.0 °C
熔点:-127 °C
分子式:Cl3HSi
分子量:135.452
闪点:7 °F