六甲基二硅氮烷
简  称 HMDS
别  名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.39
CAS号 999-97-3
EINECS 213-668-5
密  度 0.770—0.780
折光率 1.408±0.002
闪  点 27℃
沸  点 126℃
色  度 ≤10
性　状 无色透明液体、略带胺味
溶解性 溶于有机溶剂