中文名 四甲氧基硅烷
简  称 TMOS
常用名 正硅酸甲酯 | 硅酸甲酯 | 硅酸四甲酯 | 原硅酸四甲酯
英文名 Tetramethoxysilane
CAS  681-84-5
EINECS 211-656-4
化学式 C4H12O4Si
分子量  152.22
密  度 1.0±0.1 g/cm3
熔  点 -2℃
沸  点 121~122℃
闪  点 26℃